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型号 | BD系列直流偏压电源 |
厢数 | 三厢+N |
输入电压 | 380V |
频率 | 50HZ |
输入方式 | 4线(含零线) |
输出波形 | 脉冲 |
功率 | 10KW—100KW(可定制) |
电压 | 0—1200V(可定制) |
电流 | 0—100A(可定制) |
稳定度 | ≤1% |
纹波及杂讯 | ≤2% |
功率 | ≥90% |
控制方式 | 恒压 高低压切换 |
控制接口 | 可选方式:面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) |
保护 | 具备缺相、过热、限压、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
冷却 | 风冷或水冷 |
防护等级 | IP21 |
外形单元尺寸 (W*D*H) | 箱体:440(W)X260(H)X580(D) (20KW风冷) 面板:482(W)X280(H) |
工作电压可分A或B两档,每一档内的电压连续可调、自动稳压,稳压精度1%F.S
A档:100V—1000V
B档:50V—500V
偏压电源主要用于多弧离子镀膜、
磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、
非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。
主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、
镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。
合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,
明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。
大功率开关电源厂家可调电源是采用当前国际先进的高频调制技术,其工作原理是将开关电源的电压和电流展宽,实现了电压和电流的大范围调节,同时扩大了目前直流电源供应器的应用。
大功率高压电源输出频率与输入交流频率存在偏差时,大功率高压电源输出频率跟踪输入交流频率变化的速度,输入频率由跟踪频率范围下限至上限突变时,输入频率突变范围与输出频率跟踪至输入频率上限时,所用的时间比值即为频率跟踪速率。频率跟踪速率过大时,逆变器对市电频率的变化过于敏感,当市电电压波形高次谐波成份过大,或波形失真严重时,逆变器都可能误认为市电频率变化而盲目跟踪,从而造成逆变器工作频率不稳定或抖动,反之,如果频率跟踪速率过小,则在市电频率发生变化的过程中。
大功率高压电源目的是为了保证输出频率变化平稳,不应出现很大的瞬变现象。逆变器工作频率大部分时间处于与市电频率不同步的状态,一旦输出过载或逆变器故障,逆变向旁路转换的可靠性就会受影响。本标准的1Hz/s是根据大功率高压电源的实际运行情况的经验数据确定的。
如果大功率高压电源的稳压精度高,计算机内的开关电源承受的应力变化小,可靠性就会提高。输出电压稳压精度与电路结构、控制方式、技术及成本等因素都有关,一般来说,在线式的大功率高压电源都有较高的稳压精度。可以说大功率高压电源电源的稳压问题受到了很多人的关注