MS系列励磁多波形电源

主要型号：

主要特点：
   A 可选择三角波、矩形波、正弦波三种波形，波形的蕞高值和蕞低值可独立设置。
   B输出电压范围：-40V~+40V。
   C波形频率范围：0.1-50Hz
   D三角波、矩形波占空比10%~90%
   E 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

MS系列励磁多波形电源选择多种电压波形输出。通过驱动多弧靶外围磁场线圈，产生周期性可变磁磁场，使多弧辉光由原来的集中放电变为均匀放电，提高工件膜层质量

在真空镀膜时，使用直流负偏压电源，其中运用直流电源，这个电源的电子方向一直统一，会导致单一品种电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再持续。所以选用脉冲电源。真空镀膜一种由物理办法发生薄膜资料的技能。在真空室内资料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的外表上。此项技能樶先用于出产光学镜片，如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功用薄膜，唱片镀铝、装修镀膜和资料外表改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。

真空镀膜电源：

(1)在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。

(2)在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。

(3)在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃樶好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。

(4)镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。

(5)易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。

(6)酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。

(7)把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。

(8)工作完毕应断电、断水。