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真空镀膜电源采用先进的PWM脉冲宽度调制技术性，具备良好的动态性性能和抗干扰性才可以，动态性映衬时时刻刻十分小。整体规划有工作电压.电流量双闭环控制操控电源电路，可即时对輸出电流电压的操控。在起弧和维弧时要积极急速操控电流电压使起弧和维弧工作更稳定，减压稳压阀精密度大大的发展，能有效节约溅射靶材使用量，发展生产能力，保证 镀膜品质。
真空机电源的大的特点及产品优点：采用了先进的PWM脉冲宽度调制技术性，具备良好的动态性性能和抗干扰性才可以，动态性映衬时时刻刻低于10mS。整体规划有工作电压.电流量双闭环控制操控电源电路，可即时对輸出电流电压的操控，能有效解决磁控溅射流程中负极相对孔径的不清理造成电光充放电导致大电流量冲击性造成电源的毁坏疑惑。
采用智能化DSP操控技术性，积极操控电源的恒流源恒流电源情况。在起弧和维弧时要积极急速操控电流电压使起弧和维弧工作更稳定。具备工作电压陡降特点,可充足令人满意射频溅射的特别要求。
电源的輸出电流电压操控精密度低于0.2%。具备模拟量输入操控插口,客户的4-20mA数据信号能操控电源的电流电压，电源輸出4-20mA数据信号供客户的PLC呈现电源的輸出电流电压。电源的功率因素达到0.95，电源输出功率≥90%。
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