真空镀膜电源的启动和关闭有哪些注意事项?简单来说,真空镀膜机无论开机还是关机都有一定的技巧和安全隐患;在接下来的时间里,下面的真空镀膜电源厂家小编系列将为您详细介绍真空镀膜电源的启动和关闭注意事项吧。
(1)熟练掌握真空镀膜机安全操作规程
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上,气在0.4Mpa以上,电压在370-390V)。
(3)开机步骤:气动机械泵,约30s后开前级阀,开复合真空计,待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。
(4)关机步骤:关电离计,关闭高阀,切断加热器电源,用前级泵抽前级自然降至室温,关前级管道阀,停止机械泵,停冷却水、停电、停气。