韶关优质直流磁控溅射电源设备厂

韶关直流磁控溅射电源设备厂选用了领先的PWM脉宽调制技术，具有杰出的动态特性和抗干扰才能，动态呼应时刻小于10mS。规划有电压、电流双闭环操控电路，可实时对输出电压电流的操控，能有用处理溅射过程中阴极靶面的不清洁导致弧光放电造成大电流冲击导致电源的损坏疑问。选用数字化DSP操控技术，主动操控电源的恒压恒流状况。在起弧和维弧时能主动疾速操控电压电流使起弧和维弧作业更安稳。优质直流磁控溅射电源设备厂真空室里的堆积条件跟着时刻发作改动是常见的表象。在一轮运转过中，蒸发源的特性会跟着膜材的耗费而改动，尤其是规划中触及多层镀膜时，假如技术进程需继续数个小时，真空室的热梯度也会上升。一起，当真空室内壁发作堆积变脏时，不一样次序的工效逐步发生区别。这些要素虽然是渐进的并可以进行抵偿，但仍然大概将其视为体系公役的一部分。

韶关直流磁控溅射电源设备厂扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，优质直流磁控溅射电源设备厂装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环无法进入工作状态。

韶关直流磁控溅射电源设备厂使用说明1、产品拆开包装后检查整体是否完好，并仔细阅读使用说明书，才可通电。2、产品暂时不接任何负载情况下，接通交流电源。3、恒流使用方法：接入负载前调节电流旋钮到最小值，电压调节到用户的规定值，然后接通负载，顺时针调节电流旋钮，观察电流，达到规定的限流值，输出电压将随负载大小发生变化。优质直流磁控溅射电源设备厂注意：在恒流状态下千万不再去动电压调节旋钮。4、恒压使用方法：首先是将电流旋钮顺时针调大，在调节电压旋钮达到规定值，此时电压是恒定值。

韶关直流磁控溅射电源设备厂1、DEF-6B电子枪电源柜的操作：1)打开总电源2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。3)开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，优质直流磁控溅射电源设备厂偏转电流在1~1.7之间摆动。2、关机顺序：1)关高真空表头、关分子泵。2)待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。3)到50以下时，再关维持泵。